Fuji CAC triển khai đồng bộ phòng sạch, HVAC, hệ thống điện và hệ thống phụ trợ sản xuất cho các dự án bán dẫn, điện tử và sản xuất công nghệ cao tại Việt Nam.
Nhà máy mới, cải tạo nhà xưởng thuê, mở rộng và nâng cấp phòng sạch đều cần cơ sở thiết kế rõ ràng. Phạm vi triển khai có thể là tổng thầu Thiết kế & Thi công hoặc gói chuyên ngành, với trách nhiệm được xác định cho từng dự án.
CSA & hoàn thiện phòng sạch
Phối hợp xây dựng, kết cấu, kiến trúc; vách, trần, hoàn thiện phòng sạch và tổ chức luồng người, vật liệu.
HVAC & hệ thống phụ trợ sản xuất
Xử lý không khí, lọc khí, chênh áp và phân phối phụ trợ; khí công nghệ, nước DI và đấu nối thiết bị theo phạm vi đã thống nhất.
Điện & điều khiển nhà máy
Phân phối điện, điện nhẹ, kết nối BMS/FMCS và giám sát, phối hợp lắp đặt, thử nghiệm và chạy thử.
Quy trình thiết kế phòng sạch
Quy trình thiết kế phòng sạch — minh họa kỹ thuật, không phải ảnh dự án đã hoàn thành. Mở hình minh họa độ phân giải cao ↗Xem chín bước thiết kế
Sản phẩm và công nghệ
Xác định công đoạn, yêu cầu thiết bị và chất lượng sản phẩm.
Rủi ro ô nhiễm
Đánh giá hạt bụi, AMC, ESD, nhiệt, ẩm và rung động khi liên quan.
Yêu cầu sử dụng
Xác định phân khu, luồng người và vật liệu, tiện ích và an toàn.
Tiêu chí cấp độ sạch
Quy định cấp ISO, kích thước hạt và trạng thái sử dụng từng khu.
Cơ sở thiết kế
Thống nhất tải, phương án gió, quan hệ chênh áp và dự phòng.
Chỉ tiêu chi tiết
Xác lập giới hạn môi trường và tiện ích theo yêu cầu công nghệ.
Thiết kế đồng bộ
Phối hợp kiến trúc, HVAC, lọc khí, hút thải thiết bị và điều khiển.
Kiểm chứng
Chạy thử, phân cấp độ sạch và thử các chỉ tiêu đã thống nhất.
Vận hành
Bàn giao hồ sơ, đào tạo, triển khai giám sát và bảo trì.
Hệ thống không khí phòng sạch
Một cấu hình phổ biến cho phòng sạch bán dẫn và điện tử kết hợp thiết bị xử lý gió tươi (MAU), bộ quạt lọc (FFU) và dàn lạnh khô (DCC). Không khí hồi qua sàn nâng đục lỗ và khoang dưới sàn, tạo thành vòng tuần hoàn được kiểm soát.
Gió tươi từ MAU đi vào khoang trần. FFU tuần hoàn khí qua phòng, sàn nâng, khoang hồi gió và DCC; khí thải công nghệ đi theo hệ thống riêng.Gió ngoài trời → MAU lọc và xử lý → khoang gió cấp trên trần. Gió tươi bù lượng gió thải và rò lọt.Khoang trần → FFU / lọc HEPA hoặc ULPA → phòng sạch → sàn nâng đục lỗ → khoang hồi gió → DCC → khoang trần.Thiết bị công nghệ → ống hút thải riêng → quạt hút → xả / xử lý theo yêu cầu. Không nối vào vòng tuần hoàn không khí phòng sạch.
Minh họa luồng khí · Tốc độ hoạt ảnh không biểu thị vận tốc thiết kế.
MAU + FFU + DCC với hồi gió qua sàn nâng. Cấu hình thực tế được xác lập theo yêu cầu công nghệ và an toàn. Mở hình minh họa độ phân giải cao ↗
Đường đi của không khí
1
MAU · Xử lý gió ngoài trời
MAU lọc và xử lý gió ngoài trời, bao gồm làm lạnh và tách ẩm. Lượng gió tươi được cân bằng với gió thải và rò lọt; bổ sung gia nhiệt lại hoặc tạo ẩm khi cần.
2
FFU · Cấp khí đã lọc
Các bộ quạt lọc trên trần hút khí từ khoang gió cấp và đưa vào phòng qua lọc HEPA hoặc ULPA được lựa chọn theo yêu cầu công nghệ.
3
Sàn nâng · Thu gom gió hồi
Không khí đi xuống qua các tấm sàn đục lỗ vào khoang hồi gió dưới sàn, sau đó đi lên qua các trục hồi gió bên hông.
4
DCC · Xử lý tải nhiệt hiện
Dàn lạnh khô làm mát gió hồi trước khi khí trở lại khoang gió cấp trên trần. Nhiệt độ bề mặt dàn được duy trì cao hơn điểm sương của không khí tại dàn để tránh ngưng tụ; FFU tiếp tục tuần hoàn khí.
Các quyết định kỹ thuật theo yêu cầu công nghệ
Độ sạch theo yêu cầu công nghệ
Chế tạo wafer, lắp ráp, đóng gói và kiểm thử không có một cấp phòng sạch chung. Cần đánh giá riêng mức bảo vệ của phòng và của thiết bị; vùng sạch cục bộ được sử dụng khi công nghệ yêu cầu.
Kiểm soát môi trường và ESD
Quy định nhiệt độ, độ ẩm tương đối, quan hệ chênh áp, rung động và chiếu sáng công nghệ theo yêu cầu sản phẩm và thiết bị. Xây dựng chương trình kiểm soát ESD khi áp dụng; chỉ kiểm soát độ ẩm chưa chứng minh được khả năng bảo vệ ESD. Cấp ISO theo hạt bụi không ấn định chung ACH, chênh áp, vận tốc gió hay tỷ lệ phủ lọc.
Ô nhiễm phân tử và an toàn
Đánh giá riêng AMC khi hóa chất có thể ảnh hưởng sản phẩm hoặc công nghệ. Chỉ sử dụng lọc hạt HEPA/ULPA chưa chứng minh được khả năng kiểm soát chất ô nhiễm phân tử ở pha khí. Khí thải nguy hại từ thiết bị cần được thu giữ riêng và dẫn tới hệ hút thải/xử lý tương thích. Áp suất phòng phải đáp ứng cả kiểm soát ô nhiễm và an toàn; không áp dụng áp suất dương cho mọi khu vực.
Kiểm chứng và duy trì vận hành
Thống nhất các thử nghiệm chạy thử và nghiệm thu trước khi chốt thiết kế. Tùy phạm vi, có thể gồm phân cấp hạt bụi, rò rỉ bộ lọc sau lắp đặt, lưu lượng gió, chênh áp, nhiệt độ/độ ẩm, trực quan hóa dòng khí, khả năng phục hồi và liên động an toàn. Giám sát được thực hiện theo kế hoạch đã thống nhất dựa trên rủi ro. IQ/OQ/PQ áp dụng theo hệ thống thẩm định của khách hàng khi có yêu cầu; không phải yêu cầu bàn giao chung cho mọi dự án bán dẫn.
Ý tưởng thiết kế
Khám phá mô hình phòng sạch ISO Class 5
Theo dõi đường đi của nhân sự, vật tư và không khí trong phòng sạch—từ bố trí các phòng đến nguyên lý kiểm soát nhiệt độ.
Bố trí khu sạch và phân luồng di chuyển
Nhân sự
Thay đồ → lối vào được kiểm soát → phòng công nghệ
Vật tư
Chuẩn bị → phòng đệm hoặc hộp trung chuyển → phòng công nghệ
Lối ra & chất thải
Thay đồ ra và đưa chất thải ra theo tuyến được kiểm soát, phù hợp với vận hành
Phân khu minh họa: cấp sạch, buồng thổi khí, phòng đệm và quan hệ chênh áp được lựa chọn theo công nghệ. “Class 100” là mức đối chiếu gần đúng của hệ phân cấp cũ với ISO Class 5 tại ≥0,5 µm. Hình có chú thích tiếng Anh.
Theo dõi dòng khí và sự thay đổi nhiệt độ
Đoạn minh họa 22 giây trình bày gió cấp MAU, dòng khí đi xuống từ FFU, nhiệt từ thiết bị, hồi gió qua sàn nâng và làm mát bằng DCC.
22 giây · Không âm thanh · Chú thích tiếng Anh
Nhiệt độ và kích thước phòng hiển thị là các giả định minh họa. Đoạn phim nguyên lý này không phải nghiên cứu CFD đã được kiểm chứng hay bằng chứng đạt ISO Class 5.
Đọc trình tự mô phỏng
MAU cấp gió ngoài trời đã xử lý vào khoang gió cấp trên trần.
FFU lọc khí và cấp khí đi xuống khu sạch.
Thiết bị công nghệ tỏa nhiệt vào không khí trong phòng.
Gió ấm hơn hồi qua sàn nâng.
DCC xử lý tải nhiệt hiện trước khi khí trở lại khoang gió cấp trên trần.
Khí thải công nghệ đi theo tuyến xả riêng.
Phân loại độ sạch theo nồng độ hạt
Đối chiếu theo nồng độ hạt tích lũy có kích thước ≥0,5 µm
ISO 14644-1
Giới hạn ISO hạt/m³ tại ≥0,5 µm
FS 209E trước đây Cấp theo hệ Anh
ISO 3
35
≈ Class 1
ISO 4
352
≈ Class 10
ISO 5
3 520
≈ Class 100
ISO 6
35 200
≈ Class 1 000
ISO 7
352 000
≈ Class 10 000
ISO 8
3 520 000
≈ Class 100 000
FS 209E được hủy bỏ ngày 29/11/2001. Cấp theo hệ Anh được xác định trên cơ sở số hạt/ft³. Đây là đối chiếu gần đúng tại ≥0,5 µm; không thay thế toàn bộ cách phân cấp hoặc phương pháp thử. Quy định rõ khu vực, cấp ISO, kích thước hạt, trạng thái sử dụng và tiêu chí kiểm chứng.
Kinh nghiệm dự án với phạm vi rõ ràng
Nâng cấp & mở rộng cơ sở sản xuất bán dẫn
Thiết kế & thi công hạ tầng điện, phân phối phụ trợ và CSA, bao gồm cải tạo phòng sạch và nâng cấp cơ sở sản xuất.
Không. Tại ngưỡng kích thước hạt tích lũy ≥0,5 µm, ISO Class 5 đối chiếu gần đúng với FS 209E Class 100 trước đây; ISO Class 6 với Class 1.000. Đối chiếu này không thay thế toàn bộ cách phân cấp hoặc phương pháp thử đã thống nhất.
Mọi quy trình bán dẫn và điện tử có cùng yêu cầu phòng sạch không?
Không. Trước tiên cần xác định sản phẩm, công đoạn, thiết bị và rủi ro ô nhiễm. Cấp ISO theo hạt bụi, trạng thái sử dụng, kiểm soát môi trường và yêu cầu tiện ích được xác lập cho từng khu vực.
Có thể cải tạo nhà xưởng thuê hoặc nhà kho không?
Kinh nghiệm đã được ghi nhận của Fuji CAC bao gồm cải tạo nhà kho hiện hữu thành cơ sở sản xuất. Tính khả thi phụ thuộc hiện trạng công trình, tiện ích sẵn có, mặt bằng, yêu cầu công nghệ và phạm vi thống nhất.
Cần gửi thông tin gì để trao đổi ban đầu?
Vui lòng cung cấp địa điểm, bản vẽ hiện có, quy trình sản xuất, diện tích phòng sạch, cấp sạch và trạng thái sử dụng nếu đã biết, nhu cầu tiện ích của thiết bị, phạm vi dự kiến và tiến độ mục tiêu.
Đang chuẩn bị dự án phòng sạch hoặc nhà máy điện tử?
Chia sẻ địa điểm, mặt bằng, yêu cầu sản xuất và tiến độ dự kiến. Đội ngũ Fuji CAC sẽ trao đổi về phạm vi, ranh giới phối hợp kỹ thuật và thông tin cần bổ sung.
